西安理工大学承担的国家科技重大专项取得重大突破

　　日前，从西安理工大学传来喜讯，该校承担的国家科技重大专项极大规模集成电路用单晶炉的关键技术，在大直径、高品质电子级硅单晶设备的研制和技术转化方面取得了重大突破，为我省在大尺寸晶体生长设备制造领域占领了技术制高点。

　　自1961年西安理工大学研制出我国第一台单晶炉，到目前已开发出12大系列、60余个型号的3″-8″晶体生长设备，2007年自主研发的国内首台TDR-150型单晶炉拉制出国内第一根12英寸无位错硅单晶。TDR100型硅单晶炉通过美国应用材料公司CE认证并已销往芬兰，多芯硅芯炉已定型生产，目前已占据国内多晶硅行业80%的市场份额。

　　西安理工大学国家科技重大专项攻关团队，凝聚了自动控制、电子信息、检测及传感、机械、材料等多学科交叉的科研人才，自2009年1月实施国家科技重大专项“300mm硅单晶直拉生长装备的开发”项目以来，项目课题组在国外技术封锁，国内相关技术匮乏的情况下，凝聚斗志，潜心攻关，历经20个月，研发团队从自主设计、单元测试、整机制造、系统调试和拉晶实验，2010年9月5日终于在自主研制的300mm硅单晶炉中成功拉制出300mm无位错硅单晶棒。

　　随着国家科技重大专项的实施，创新团队在硅材料应用工程领域取得了一系列突破性成果，主要有：研制成功国内第一台电子级单晶炉用大型勾型磁场，打破了国外公司对大尺寸磁场的技术和产品垄断;提出了基于功率调节技术的新型直径控制新方法，提高了晶体品质;发明了高精度激光液面测距方法，实现熔硅液面的精确控制;研制成功高效率、高功率因数的新型“绿色”电源，降低能源消耗。

　　截至目前，结合承担国家科技重大专项项目，该创新团队掌握了一批电子级单晶炉研制的关键共性技术，已申请发明专利12件，国际发明专利2件，超额完成项目合同目标任务。该项目所申请的专利涵盖从机械设计、制造工艺、控制技术、工艺技术等全过程，因此单晶炉整机具有自主知识产权，特别是大型勾型磁场和激光液面测距技术申请为国际专利，表明项目所具备的技术已进入国际领先水平。同时，该创新团队正在起草一部行业标准《MCZ系列直拉法单晶炉》。

　　为了使国家科技重大专项在我省开花结果，今年5月6日省政府副省长吴登昌专程到西安理工大学召开省政府第52次专题会议，会议决定支持西安理工大学国家科技重大专项的研发和产业化，更加鼓舞了研发人员的士气。目前，西安理工大学正按照省政府第52次专题会议精神，与陕西电子信息集团进行全面合作，通过将国家科技重大专项成果的转化，引领陕西新兴产业的装备制造业向高端化发展，迅速提升我省乃至全国的单晶炉技术水平，保持技术领先地位，打破国外大公司对高端电子级单晶炉的技术垄断。